廣納四維與EULITHA合作，加速碳化矽光波導規模化量產落地

9月4日，AR光學企業廣納四維宣布與納米圖案化技術企業EULITHA（優利賽爾）達成戰略合作，雙方將整合碳化矽光學器件與DUV深紫外光刻核心技術，共同推動高性能碳化矽光波導量產落地，賦能消費級AR眼鏡產業升級。

據了解，廣納四維創新性將碳化矽材料應用於光波導領域，依託材料高折射率、高機械強度與優異透光性的優勢，搭配自研光刻、刻蝕工藝，可在碳化矽基底完成納米級高精度光柵加工，打造出支持單片全彩顯示、無彩虹紋的優質光波導方案，有效優化AR設備顯示效果。

合作方EULITHA深耕納米圖案化技術，將通過先進DUV深紫外光刻工藝，實現碳化矽基底大面積、高精度圖案製備。該技術可單次曝光成型多組波導結構，在保障超高解析度的同時，大幅提升量產效率。