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為降EUV製程成本,SK海力士目標10納米以下采3D DRAM技術

2024年08月13日 首頁 » 熱門科技

為降EUV製程成本,SK海力士目標10納米以下采3D DRAM技術


SK海力士日前宣布,計劃開發4F2(方形)DRAM,與競爭對手三星十分相似。SK海力士研究員Seo Jae Wook周一(12日)在首爾舉辦的產業會議中指出,自從1c DRAM商用化之後,極紫外線(EUV)製程成本就快速攀升。

Seo Jae Wook認為,現在確認這種方式(使用EUV)製造DRAM是否有利可圖的時刻,目前公司考慮未來DRAM製造垂直閘極(VG),即所謂的「3D DRAM」。

韓媒The Elec介紹,VG是內存製造商內部所稱的「4F2」,這是一種經過大量研究的單元數組結構,其中電晶體以垂直方式堆棧,即所謂的「3D DRAM」。三星將這種3D DRAM稱為「垂直信道電晶體」(vertical channel transistor,簡稱VCT)。

4F2從下而上依次為源極(source)、閘極(gate)、汲極(drain)和電容器(capacitor)。字符線(Word Line)連接到閘極,位元線(Bit Line)則連接到源極。與6F2 DRAM相比,採用這種單元數組可將晶片表面面積減少30%。

知情人士表示,三星和SK海力士目標是10納米製程以下的DRAM應用4F2技術。SK海力士的Seo Jae Wook認為,採用VG或3D DRAM製程設計,可將EUV製程成本降一半。

三星先前宣布成功將3D DRAM堆棧到16層,表示現在不是量產階段,而是可行性驗證階段。

(首圖來源:shutterstock)

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