ASML近日在社交平台發文稱：晶片製造商需要速度，第一台TWINSCAN NXE:3800E現已安裝在一家晶片工廠中。
據了解，TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代標準EUV光刻機，其配備了0.33數值孔徑透鏡，相較於此前發布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了進一步提升，能夠支持未來幾年晶片行業3nm以及2nm製程晶片的生產製造。
在性能方面，TWINSCAN NXE:3800E在晶圓處理速度與對準精度方面有了更出色的表現，它可以實現每小時處理195片晶圓的速度，相較於3600D每小時約160片的速度大約提升了22%，而且未來還有可能提升到每小時處理220片晶圓的速度。此外它還提供了小於1.1nm的晶圓對準精度。
TWINSCAN NXE:3800E精度與速度上的提升，讓晶片製造廠商在生產2nm製程晶片以及後續需要雙重曝光的製造技術時有很好的效果。不過即使是用於4nm或者5nm的製程晶片，TWINSCAN NXE:3800E也能夠提升效率，讓晶片的生產更高效，從而降低成本。
當然，這樣一套目前行業領先的EUV光刻機自然價格也是不便宜，據了解TWINSCAN NXE:3800E每套報價為1.8億美元，換算成約為13億元。不過相較於前段時間ASML賣給英特爾的High-NA EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200（報價為3.8億美元），也算是比較有性價比了。
雖然ASML官方並沒有透露首台TWINSCAN NXE:3800E具體交付給了哪家廠商，但有評論指出是英特爾。在ASML的助力下，美國晶片企業發展順風順水，在努力拉開與其它國家的差距。
