Teradyne推出Micro-LED量產檢測平台Iris 100，瞄準AR微顯示規模製造

9月21日，半導體自動測試設備廠商Teradyne正式推出Micro-LED量產級光學測試平台Iris 100，面向AR微顯示以及AI數據中心光互連等Micro-LED應用，重點解決Micro-LED從實驗室驗證走向規模製造後的檢測效率和成本問題。

據介紹，Iris 100可以對Micro-LED陣列中的每一個發光單元進行檢測，並直接與Teradyne UltraFLEXplus平台整合，同時完成光學和電學測試。系統配備光譜儀和高解析度相機，可測量Micro-LED陣列的光譜響應、單像素亮度和均勻性。

針對AR微顯示中數十萬甚至數百萬個Micro-LED發光單元，Iris 100通過並行測試和圖像處理算法提高整塊陣列的檢測效率，並能夠識別死點、常亮像素和像素簇等光學缺陷。系統同時支持晶圓級測試和最終成品測試。

Teradyne表示，Micro-LED正在從實驗室研發逐步進入規模化生產，尤其是AR微顯示和光互連兩類應用，對高精度、高吞吐量檢測提出了新的要求。傳統實驗室光學儀器雖然能夠完成器件表徵，但在檢測速度和單位成本方面難以滿足大規模製造需求。

此次Iris 100的推出，也顯示隨著Micro-LED微顯示逐漸進入量產階段，上游設備需求正在從晶片製造進一步延伸至逐像素檢測、晶圓測試和最終測試等環節。對AR產業鏈而言，檢測設備正在成為提升良率和規模交付能力的重要一環。