韓國媒體報道，台積電12日臨時董事會決議，以不超過4.328億美元 ，自英特爾取得10%地利半導體設備商IMS股權。因IMS領導全球EUV微影曝光設備光罩市場，台積電收購股權自然引起三星關切。
韓媒BusinessKorea報道，台積電收購IMS股權讓韓國業界震撼，因IMS是EUV微影曝光設備光罩市場領導廠商，市場占有率高達98%。英特爾2009年初步投資後，2016年更收購IMS。2022年6月英特爾出售約20%股份給私募股權企業貝恩資本 (Bain Capital)。
IMS的「多光束光罩寫入設備」可精確快速生產光罩，韓媒訪問韓國市場人士，如果沒有IMS設備，ASML的EUV微影曝光設備將毫無用處，台積電這決定似乎是對準ASML下一代High-NA EUV微影曝光設備。微影曝光設備對7納米以下先進制程扮演重要角色，台積電尋求供應鏈更穩固合作也不意外。
三星2012年斥資約7,000億韓元收購EUV微影曝光設備大廠艾司摩爾 (ASML) 3%股權，強化微影曝光設備開發。2016年三星將ASML股權售出一半為投資回應，截至2023年第二季末，三星僅保留0.7% ASML股權。三星表示兩家合作不受影響。
但2納米先進制程競爭不斷升溫，台積電2022年6月宣布準備2納米試產，追趕的三星計劃以GAA架構先用2納米超越台積電。加上英特爾和日本Rapidus先後加入2納米競賽，市場將會非常激烈。台積電能否借投資IMS持續占優勢，與三星及其他對手維持距離，韓國半導體界都很關切。
(首圖來源：網路攝)
