外延沉積與工藝設備製造商Veeco Instruments Inc（位於美國紐約州普蘭維尤）宣布，一家全球領先的光通信雷射器製造商已下單採購多套Lumina金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）系統及多套Spector離子束濺射（IBD）光學鍍膜系統。上述設備將用於製造磷化銦（InP）雷射器，為數據通信行業提供創新光通信解決方案。此次訂單確立了Lumina作為該客戶InP外延量產主力設備的地位，而Spector系統則用於在雷射二極體端面沉積高質量光學薄膜。
Veeco產品線管理高級副總裁Adrian Devasayham表示："此次訂單延續了我們Lumina系統過去一年在光收發器量產領域積累的強勁勢頭。Spector系統長期以來已是業界公認的量產主力設備，此次追加訂單進一步鞏固了Veeco在InP雷射器製造生態系統中的關鍵地位。"
收發器市場預計將在未來數年內延續快速增長態勢，與全球各大超大規模雲服務商創紀錄的資本投入保持同步。據市場研究機構LightCounting統計，2025年光收發器及相關產品銷售額超過230億美元，較2024年增長50%。
Veeco表示，其MOCVD TurboDisc技術是Lumina系統實現長期穩定運行、高均勻性與低缺陷率的核心支撐，無需對反應腔進行清洗，從而保證了卓越的產能、良率與靈活性，同時通過均勻的氣體注入與熱場控制，實現優異的厚度及成分均勻性。此外，Lumina還支持無縫晶圓尺寸切換，可在直徑最大8英寸的晶圓上沉積高質量InP外延層。Spector IBD平台則憑藉超緻密、低損耗光學薄膜以及精確的光學厚度與反射率控制，為InP雷射器端面鍍膜提供高可靠性保障，有效降低災難性光學損傷（COD）風險，確保器件穩定的高功率運行並延長使用壽命。
Q&A
Q1：Veeco的Lumina MOCVD系統有哪些技術優勢？
A：Lumina系統基於Veeco的TurboDisc技術，能夠在長期運行中保持高均勻性與低缺陷率，且無需清洗反應腔，有效提升產能與良率。系統支持均勻氣體注入與熱場控制，確保薄膜厚度與成分的一致性，並可無縫切換晶圓尺寸，支持最大8英寸InP外延片的生長。
Q2：Spector IBD系統在InP雷射器製造中具體起什麼作用？
A：Spector IBD系統專門用於InP雷射器端面的光學鍍膜，能夠沉積超緻密、低損耗的光學薄膜，並精確控制光學厚度與反射率。這有助於降低災難性光學損傷（COD）的發生風險，保障器件高功率穩定運行，並有效延長雷射器的使用壽命。
Q3：目前光收發器市場的規模和增長情況如何？
A：根據市場研究機構LightCounting的數據，2025年全球光收發器及相關產品銷售額已超過230億美元，較2024年增長約50%。受全球超大規模雲服務商持續加大資本投入的推動，該市場預計在未來數年內仍將保持快速增長態勢。
