IBM和日本創業公司晶片商Rapidus於IEEE IEDM 2024國際電子組件會議,展示合作的多閾值電壓GAA電晶體成果,有望用於Rapidus的2納米量產。
IBM表示,先進制程升級至2納米節點後,電晶體結構由使用多年的FinFET鰭式場效應電晶體,轉成GAAFET全環繞柵極場效應電晶體,對製程改朝換代帶來新挑戰。如何達多閾值電壓(Multi Vt),讓晶片以較低電壓執行複雜計算是個挑戰。
IBM強調,2納米製程N型和P型半導體信道,距離相當狹窄,需精確曝雷射雷達到多閾值電壓,也不影響半導體性能。IBM攜手Rapidus導入兩種選擇性減少層(SLR)晶片構建,成功完成目標。
IBM研究院高級技術人員Bao Ruqiang表示,與FinFET相較,Nanosheet納米片結構非常不同,且更複雜。新技術比以前方法更簡單。相信將使合作夥伴Rapidus更容易可靠量產2納米晶片。
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