三星在本周的「NGL 2026」上,更新了未來的半導體製造技術路線圖。相比於2024年時的路線圖,三星做了一些調整,其中還涉及到大家關心的1.4nm和1nm製程節點,以及High-NA EUV技術的應用。

據TomsHardware報道,三星並不急於將SF1.4(1.4nm)工藝推向市場,量產時間放在了2029年,接下來的幾年裡將專注於完善基於2nm製程節點的工藝,包括SF2P、SF2X、SF2A和SF2Z等,並推進BSPDN背面供電技術的應用。
就如去年三星所說的那樣,希望通過優化2nm製程節點的性能和能耗表現,提高良品率,使其更適合業界使用,也更具商業競爭力。另外三星已經與特斯拉簽下了長期供應協議,為對方製造2nm晶片,首要任務是確保主要客戶的訂單。
在2030年左右將轉向1nm級別的製程節點,首次確認引入High-NA EUV技術,相比過去流傳的2nm和1.4nm製程節點要更晚一些。除了初代SF1.4,三星還將帶來增強版的SF1.4+,與基於1nm製程節點的新工藝共存。
雖然三星使用High-NA EUV光刻機進行研究已經超過一年,但是並不著急應用到生產中,稱該技術仍需進一步改進。現階段High-NA EUV光刻機面臨的最大問題是使用成本遠高於現有的EUV光刻機,其中涉及到整個供應鏈的變動。






