4月21日消息，衍射光柵廠商Inprentus宣布，將在SPIE 2023 AR|VR|MR上發布適用於AR光波導方案的閃耀光柵工藝。據悉，該工藝基於機械刻劃技術，可在光波導上加入複雜的凹槽結構。
據了解，Inprentus的閃耀光柵機械刻劃工藝原理是，使用金剛石筆來讓金屬表面變形，創建三角形凹槽。而這種凹槽結構，可用作光波導磨具，特點可在6英寸晶圓上疊加鉭塗層作為氧化層，來促進下游壓印工藝。
Inprentus創始人Peter Abbamonte博士表示：AR光波導通過表面衍射光柵來實現對光的全內反射（TIR），而調整光柵光譜響應的傳統方式是通過閃耀結構。然而閃耀結構難以通過電子束光刻技術製造，尤其是在亞波長範圍內，因此一直依賴於交替光刻技術。相比之下，Inprentus方案宣稱可製造不對稱、高度可調的閃耀結構，線密度範圍可達3000-400 lpmm，從而實現更高的效率，並且降低光波導的eyeglow現象，消除了光刻光柵中常見的紗窗效應。
該公司還宣布，將繼續與納米壓印光刻（NIL）公司建立合作，直接向AR廠商提供高透光光波導鏡片。
