鹽城鹽南高新區高端裝備產業迎來關鍵技術突破，入駐企業智芯達真空設備（江蘇）有限公司，成功自研推出國內首套矽基IZO低溫低損傷磁控濺射設備。目前該設備已完成整機調試與驗收工作，順利交付國內頭部矽基Micro OLED產線投入使用，標誌著我國AR、VR核心顯示鍍膜設備徹底擺脫海外技術壟斷，實現關鍵裝備自主可控。
作為AR/VR近眼顯示、高端車載顯示的核心元器件，矽基Micro OLED對鍍膜工藝要求極高。傳統進口濺射設備作業溫度高、粒子衝擊強度大，極易損壞螢幕有機發光層，影響產品良品率。針對行業痛點，智芯達依託自研專利技術，實現40至60攝氏度低溫穩定鍍膜，膜層均勻性誤差控制在±2%以內，納米級厚度精度全面優於進口設備，大幅提升顯示器件生產質量。
據悉，項目團隊在極短的四個月交付周期內，接連攻克高難度工藝適配、全套國產化替代等多項技術難題。該設備的落地，有效降低了國內新型顯示企業的設備採購與後期運維成本。目前智芯達已積累60餘項授權專利，形成完整自主智慧財產權體系。
除矽基顯示鍍膜設備外，企業持續拓寬技術應用邊界，積極布局大尺寸OLED、半導體晶片電磁隱藏鍍膜領域，面向先進封裝的全新設備也已進入測試環節。依託龍頭企業帶動，鹽南高新區將持續完善產業鏈配套，壯大高端裝備產業集群，為國內新型顯示產業高質量發展持續賦能。
