在IEDM 2024大會上,英特爾代工(Intel Foundry)介紹了新的技術突破,以幫助推動半導體行業邁向未來的十年甚至更遠的將來。英特爾不但展示了有助於改善晶片內部互連的新材料,還率先報告了採用先進封裝的異構集成解決方案,將吞吐量提升了100倍。

英特爾代工已經確定了幾條路徑,以解決未來製程節點互連擴展方面的限制,包括:
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減成法釕互連技術(subtractive Ruthenium) - 這是一種新的關鍵替代金屬化材料,團隊首次展示了一種實用、經濟、大批量生產相兼容的新工藝。在間距小於或等於25nm的情況下,最高可將線間電容降低25%,有助於改善晶片內互連。
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選擇性層轉移(Selective Layer Transfer,SLT) - 這是一種用於先進封裝的異構集成解決方案,能將吞吐量提升高達100倍,從而實現了超快速的晶片間封裝(chip-to-chip assembly)。與傳統的晶片到晶圓鍵合相比,具有更好的靈活性,可以實現更小的晶片尺寸和更高的寬高比,允許更高的功能密度,並提供了更高效、更具成本效益的解決方案。 -
Silicon RibbonFET CMOS(互補金屬氧化物半導體) - 團隊展示了柵極長度為6nm的Silicon RibbonFET CMOS電晶體,將柵極縮放到極限。 -
用於縮放GAA 2D FET的柵極氧化層(Gate Oxide)模塊 - 為了進一步加速超越CFET的柵極全方位創新,團隊展示了其在製造柵極長度為30nm的GAA 2D NMOS和PMOS電晶體制造方面的工作。