ASML將於年底出貨新一代EUV光刻機：為2nm工藝打造，售價將超10億元

晶圓代工廠商如果想要研發全新的製程工藝，那麼就需要更加先進的光刻機，而現在最為先進的EUV光刻機幾乎都被ASML所壟斷，而現在有消息稱ASML計劃在年底出貨最新一代的光刻機，產能大幅提升，可以為今後的2nm工藝製程做準備。

作為目前EUV光刻機領域的絕對領導者，ASML的EUV光刻機也經過了多次疊代，讓能效以及產能大幅提升，目前ASML出貨的最新光刻機為NXE：3600D，而下半年將要出貨的是NXE：3800E光刻機，與目前的光刻機相比，NXE：3800E光刻機的曝光能力達到了30mJ/cm2，這個性能水平相當於每小時能夠製造195片晶圓，經過優化後產能可以達到220片晶圓，與目前的光刻機相比提升了30%，很顯然產能的提升也將減緩現在高端晶片產能供應不足的局面。

至於價格的話，屬於行業機密了，不過有報道稱NXE：3600D光刻機的售價超過了1.5億美元，也就是10億元，那麼更加先進的NXE：3800E光刻機應該來說只會更加昂貴，畢竟現在整個市場就是ASML說了算，而且光刻機也是供不應求，包括三星、英特爾以及台積電都將選用ASML的最新一代的光刻機，如果下半年順利交付的話，加上調試、安裝等時間，預計三星可以在明年將這款光刻機用於2nm製程晶圓的生產之中。