英特爾宣布,其位於愛爾蘭的Fab 34晶圓廠完成了EUV(極紫外)光刻機的安裝調試工作,已經正常開機,即將量產Intel 4工藝。
英特爾將於明天(9月29日)在現場舉行活動,慶祝Intel 4工藝的量產,公司高層人員也會參與,包括首席執行官Pat Gelsinger、技術開發總經理Ann Kelleher和首席全球運營官Keyvan Esfarjani等。屆時英特爾將介紹如何通過EUV技術實現製造和交付的過程,未來將引領其前沿產品,從提供人工智慧(AI)的處理器到個人電腦,再到全球最大數據中心所使用的各類晶片。
去年4月份,英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一台EUV光刻機的安裝,這是歐洲首個具備EUV工藝的晶圓廠。大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協助安裝,同時英特爾從美國派來了工程師,負責培訓Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV光刻機。此前英特爾向ASML訂購了多台EUV光刻機,第一台就是安裝在Fab 34晶圓廠,英特爾稱之為「Intel 4工藝技術的關鍵推動者」。
Fab 34晶圓廠於2019年開始動工,計劃2023年正式投產。英特爾曾表示,愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴建計劃的一部分,為了滿足全球迅速增長的晶片需求,同時也為英特爾的Intel 4工藝量產鋪路,未來將用於生產Meteor Lake和Granite Rapids等晶片。