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英特爾宣布Intel 4已大規模量產首次引入EUV技術,穩步推進工藝路線圖

2023年10月16日 首頁 » 熱門科技

英特爾宣布,已開始採用極紫外光刻(EUV)技術大規模量產(HVM)Intel 4製程節點。英特爾稱,Intel 4工藝將應用於新一代產品,滿足AI推動下「芯經濟」指數級增長的算力需求,這次的按時量產證明了其正以強大執行力推進「四年五個製程節點」計劃。

英特爾宣布Intel 4已大規模量產首次引入EUV技術,穩步推進工藝路線圖

英特爾CEO帕特-基爾辛格(Pat Gelsinger)表示:「我為英特爾團隊以及客戶、供應商和合作夥伴感到驕傲,我們一起將Intel 4製程節點的大規模量產變為現實,在重獲製程領先性的道路上穩步前進。」

在英特爾的「四年五個製程節點」的半導體工藝路線圖裡,Intel 7和Intel 4已實現大規模量產;Intel 3正在按計劃推進,目標是2023年底;Intel 20A和Intel 18A進展順利,目標是2024年,將採用RibbonFET全環繞柵極電晶體和PowerVia背面供電技術。此外,英特爾不久後將推出面向英特爾代工服務(IFS)客戶的Intel 18A製程設計套件(PDK)。

作為英特爾首個採用極紫外光刻技術生產的製程節點,Intel 4可使用超短波長的光,改善良品率和面積微縮,從而實現高能效,還能應用EMIB和Foveros封裝技術,相比之前的工藝,無論在性能、能效還是電晶體密度方面均實現了顯著提升。

英特爾宣布Intel 4已大規模量產首次引入EUV技術,穩步推進工藝路線圖

根據英特爾之前的介紹,與Intel 7相比,Intel 4實現了兩倍的面積微縮,帶來了高性能邏輯庫,並引入了多個創新,包括引入EUV光刻技術,大幅簡化了互連架構的製程工藝,同時還支持微縮,使得Intel 4中的掩碼減少了20%,工藝步驟減少了5%;針對高性能計算應用進行了優化,可支持低電壓(<0.65V)和高電壓(高於1.1V)運行,相比Intel 7,Intel 4的ios功率性能提高了20%以上;另外高密度(金屬-絕緣體-金屬)電容器實現了卓越的供電性能。

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