此前有報道稱，近期台積電（TSMC）首席執行官魏哲家訪問了ASML的總部，同時也拜訪了雷射供應商Trumpf，與對方的高層會面。台積電似乎改變了之前對High-NA EUV光刻技術的一些看法，或許會加快引入新技術和新設備的步伐。
據Wccftech報道，ASML發言人Monique Mols向媒體提及，ASML首席財務官Roger Dassen已確認今年年底前將向英特爾和台積電運送兩台High-NA EUV光刻機。受到該消息刺激，ASML的股價在今天開盤後大漲，美東時間6月5日收盤時上漲了9.52%。
由於英特爾在購買High-NA EUV光刻機方面表現得相當積極，新設備出現時已搶先下單，並在去年末接收了業界首台商用High-NA EUV光刻機，前一段時間已完成組裝工作。傳聞英特爾已經獲得了明年上半年之前生產的大部分High-NA EUV光刻機，所以選擇繼續接收屬於正常操作。真正讓人感到意外的是台積電，要知道不久之前，台積電高層還在否定短期內引入High-NA EUV光刻機的做法，認為設備過於昂貴，A16製程工藝的公布一定程度上也印證了這種想法。
隨著ASML證實了台積電將在今年引入High-NA EUV光刻機，已經有媒體聯繫了台積電了解相關情況，不過得到的答覆是屬於與供應商之間的密切合作，似乎現階段不想做太多的回應。據了解，三星和SK海力士明年也將得到High-NA EUV光刻機，預計在2025年下半年。
此前有報道稱，一台High-NA EUV光刻機的價格大概為3.8億美元，是EUV的兩倍多，目前ASML每年High-NA EUV光刻機的產能大概在5到6台，收到的訂單數量在10至20台之間。
