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Rapidus北海道廠分四階段安裝EUV曝光機,拼2027年量產

2024年12月19日 首頁 » 熱門科技

Rapidus北海道廠分四階段安裝EUV曝光機,拼2027年量產


日本半導體創業公司Rapidus成為日本首間獲得極紫外線(EUV)曝光設備的公司,目前已開始在北海道千歲市在建晶片廠安裝設備。該公司首席執行官小池淳義(Atsuyoshi Koike)18日在新千歲機場舉行的典禮上表示,將從北海道和日本向全球提供最先進半導體。

日經報道稱,ASML製造的第一批EUV曝光系統已於14日運抵機場,本月底將在晶片廠完成安裝。由於該系統體積龐大,將分四階段安裝,一個完整設備重達71噸,如同一頭鯨魚,高度為3.4米。

ASML是全球唯一EUV設備供應商,每個設備成本約1.8億美元以上,視機型而定。目前只有少數晶片製造商採用,包括台積電、三星電子和英特爾,去年全球僅交貨42台。

據悉,小池淳義於11月陪同ASML監事會成員Martin van den Brink參觀無塵室及工廠其他區域。Van den Brink作為ASML前首席技術官,在EUV技術的開發中發揮領導作用,並批准相關安裝工程進行。

Rapidus正與IBM合作,計劃2025年春季完成2納米製程晶片原型開發,並在2027年實現量產。相比之下,晶片代工龍頭台積電則計劃2025年開始量產2納米晶片。

日本半導體業曾在1980年代占據全球超過50%的市場占有率,但到2000年代已退出更小尺寸邏輯晶片的競爭,目前沒有一家日本晶片製造商能生產40納米以下的先進晶片。Rapidus在日本政府支持下成立,旨在重振日本先進晶片的生產能力,降低對進口的依賴。日本政府目標到2030年實現國內半導體銷售額達15兆日元,為2020年的三倍。

日本承承包商鹿島建設(Kajima)正興建專門用於安裝Rapidus EUV系統的大樓,無塵室則由高砂熱學工業(Takasago Thermal Engineering)負責。為了累積專業知識,Rapidus已派遣約150名工程師前往IBM學習生產線管理技術。

根據日本政府數據,全球先進半導體市場預計到2030年將增至53兆日元,相較2020年增長近八倍。

(首圖來源:Rapidus)

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