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韓國KAIST:外延工藝可改善Micro LED效率,並將散熱減少40%

2023年03月31日 首頁 » 熱門科技

近期,韓國科學技術學院(KAIST)公布了一種全新的半導體外延工藝,宣稱可改善解決高解析度、小型化Micro LED的效率問題,並將散熱減少40%。值得注意的是,這項研究獲得了三星未來技術孵化中心的支持。

韓國KAIST:外延工藝可改善Micro LED效率,並將散熱減少40%

KAIST科研人員指出,隨著顯示技術發展,螢幕的形態也出現了越來越多可能性,比如可穿戴式(AR/VR)、卷屏式等等。然而,由於AR/VR硬體的體積限制,想要在AR/VR一體機上實現優質的體驗面臨多種挑戰,在高解析度(4K )、長續航、小尺寸等方面需要做出取捨。因此就顯示屏而言,實現小尺寸、高解析度/像素密度、高效率則十分關鍵。

相比於OLED技術,Micro LED具有更出色的亮度、對比度和使用壽命,未來在AR/VR應用上具有潛力。但現階段,Micro LED的像素縮小到微米級時,效率會急劇下降。但科研人員發現,在製造Micro LED時若使用外延結構工藝,則可以從根本上解決該問題。

據了解,外延指的是將氮化鎵晶體(發光體)堆疊在超純矽或藍寶石襯底(Micro LED的介質)的過程。常見的Micro LED工藝通過蝕刻來將晶圓上的外延結構切割成圓柱體或長方體,這種蝕刻工藝伴隨著某種基於等離子體的工藝,這些等離子體會在像素形成過程中造成像素缺陷側壁形成缺陷。而隨著像素尺寸變小、解析度提升,像素的表面積與體積的比例增加,這時在加工過程中出現的側壁缺陷將進一步降低Micro LED的效率。

在研究中,科研人員發現在運行期間,Micro LED受外延結構影響,其側壁的電流存在差異。因此基於這個發現,該團隊設計了一種對側壁缺陷不敏感的結構,宣稱可解決Micro LED小型化導致的效率降低問題,並顯著減少散熱,這種優化對於Micro LED的商業化具有重要意義。


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